晶圓貼合機
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研磨用保護膠帶貼合機以壓合方式貼合,適用於先進薄型晶圓‧高錫球晶圓等對應機種。 提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供3種機台款式供選擇使用。
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特性. 貼合壓力及溫度可均勻的在整個晶片表面。 DFR貼合滾輪之溫度可精確控制。 張力均勻(無貼合張力或些許貼合張力可選)。 適用於研磨製程的保護膠帶。 綠化機台( ...
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